在负压条件下加热并保持恒温的电干燥箱称为真空干燥箱，以下简称真空箱。
市面上的内胆设计有圆形和方形两种，极限真空度一般为1kPa、0.5kPa、0.3kPa、0.1kPa，最高温度分为150℃、200℃、250℃，温度波动度一般为±1℃。关于真空箱的密封性要求，根据真空箱国家标准GB/T29251-2012的公布，0.1立方米及以上工作室极限压力达到0.3kPa后，在环境温度5-35℃下，维持24小时极限压力不得大于8kPa。最高温度低于200℃的真空箱，温度误差不得大于±3℃，24小时内温度稳定性不得大于2℃。对于最高温度超过200℃的真空烘箱，温度误差不应大于最高温度的±1.5%，24小时内温度稳定性不应大于最高温度的1%。设定温度在200℃以下时，距柜体门框及观察窗80mm及以外任何表面的表面温度不应大于室温加35℃。内胆从35℃升到最高温度的时间不应超过120分钟，连续工作时不应少于72小时。
